Ang likidong mga sistema ng paglamig ng nitrogen ay malawakang ginagamit sa industriya ng semiconductor at chip, kabilang ang proseso ng,
- Ang teknolohiya ng molekular na beam epitaxy (MBE)
- Ang pagsubok ng chip pagkatapos ng package ng cob
Mga kaugnay na produkto
Vacuum insulated pipe series
Vacuum insulated flexible hose series
Dynamic Vacuum Pump System
Vacuum insulated phase separator series
Vacuum insulated valve series
Kagamitan sa suporta sa Piping System
Molecular beam epitaxy
Ang teknolohiya ng molekular na beam epitaxy (MBE) ay binuo noong 1950s upang maghanda ng semiconductor manipis na mga materyales sa pelikula gamit ang vacuum evaporation technology. Sa pagbuo ng ultra-high vacuum na teknolohiya, ang aplikasyon ng teknolohiya ay pinalawak sa larangan ng agham ng semiconductor.
Napansin ng HL ang demand ng MBE Liquid Nitrogen Cooling System, naayos ang teknikal na gulugod upang matagumpay na bumuo ng isang espesyal na MBE Liquid Nitrogen Cooing System para sa teknolohiya ng MBE at isang kumpletong hanay ng mga vacuum insulated piping system, na ginamit sa maraming mga negosyo, unibersidad at institusyon ng pananaliksik .
Ang mga karaniwang problema ng industriya ng semiconductor at chip ay kasama,
- Ang presyon ng likidong nitrogen sa kagamitan sa terminal (MBE). Maiwasan ang labis na presyon mula sa nakasisira na kagamitan sa terminal (MBE).
- Maramihang mga cryogenic likidong inlet at outlet control
- Ang temperatura ng likidong nitrogen sa kagamitan sa terminal
- Isang makatuwirang halaga ng mga paglabas ng cryogen gas
- (Awtomatikong) Paglilipat ng mga linya ng Main at Branch
- Pag -aayos ng presyon (pagbabawas) at katatagan ng VIP
- Paglilinis ng Posibleng Mga Dumidisenyo at Ice Residue mula sa Tank
- Pagpuno ng oras ng mga kagamitan sa likidong terminal
- Pipeline precooling
- Ang paglaban ng likido sa sistema ng VIP
- Pagkontrol ng pagkawala ng likidong nitrogen sa panahon ng hindi pagtigil na serbisyo ng system
Ang Vacuum Insulated Pipe (VIP) ng HL ay itinayo sa ASME B31.3 Pressure Piping Code bilang isang pamantayan. Ang karanasan sa engineering at kakayahan sa kontrol ng kalidad upang matiyak ang kahusayan at pagiging epektibo ng halaman ng customer.
Mga solusyon
Ang HL cryogenic na kagamitan ay nagbibigay ng mga customer ng vacuum insulated piping system upang matugunan ang mga kinakailangan at kundisyon ng industriya ng semiconductor & chip:
1. Mamamahala ng Sistema ng Pamamahala: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2. Isang espesyal na phase separator na may maraming cryogenic liquid inlet at outlet na may awtomatikong control function ay nakakatugon sa pangangailangan ng paglabas ng gas, recycled likidong nitrogen at temperatura ng likidong nitrogen.
3.Adequate at napapanahong disenyo ng tambutso ay nagsisiguro na ang mga kagamitan sa terminal ay palaging gumagana sa loob ng dinisenyo na halaga ng presyon.
4.Ang hadlang ng gas-likido ay inilalagay sa vertical VI pipe sa dulo ng VI pipeline. Ang hadlang ng gas-likido ay gumagamit ng prinsipyo ng selyo ng gas upang hadlangan ang init mula sa dulo ng pipeline ng VI sa VI piping, at epektibong mabawasan ang pagkawala ng likidong nitrogen sa panahon ng walang tigil at magkakasamang serbisyo ng system.
5.vi piping na kinokontrol ng vacuum insulated valve (VIV) series: kabilang ang vacuum insulated (pneumatic) shut-off valve, vacuum insulated check valve, vacuum insulated regulate valve atbp iba't ibang uri ng VIV ay maaaring maging modular na pinagsama upang makontrol ang VIP bilang kinakailangan. Ang VIV ay isinama sa prefabrication ng VIP sa tagagawa, nang walang on-site na insulated na paggamot. Ang yunit ng selyo ng VIV ay maaaring mapalitan nang madali. (Tinatanggap ng HL ang cryogenic valve brand na itinalaga ng mga customer, at pagkatapos ay gumagawa ng mga vacuum insulated valves ng HL. Ang ilang mga tatak at modelo ng mga balbula ay maaaring hindi gawin sa mga vacuum insulated valves.)
6.Pagtataya, kung may mga karagdagang kinakailangan para sa kalinisan ng panloob na tubo. Iminumungkahi na ang mga customer ay pumili ng BA o EP hindi kinakalawang na mga tubo ng bakal bilang VIP panloob na mga tubo upang higit na mabawasan ang hindi kinakalawang na asero na pag -iwas.
7.Vacuum insulated filter: Linisin ang posibleng mga impurities at nalalabi sa yelo mula sa tangke.
8.Pagkatapos ng ilang araw o mas matagal na pag -shutdown o pagpapanatili, kinakailangan upang maihanda ang VI piping at terminal na kagamitan bago ipasok ang cryogenic liquid, upang maiwasan ang slag ng yelo pagkatapos ng cryogen na likido na direktang pumapasok sa VI piping at terminal na kagamitan. Ang pag -andar ng precooling ay dapat isaalang -alang sa disenyo. Nagbibigay ito ng mas mahusay na proteksyon para sa mga kagamitan sa terminal at VI piping support kagamitan tulad ng mga balbula.
9.Suit para sa parehong dynamic at static vacuum insulated (nababaluktot) na sistema ng piping.
10.Dynamic Vacuum Insulated (Flexible) Piping System: Binubuo ng VI Flexible Hoses at/o Vi Pipe, Jumper Hoses, Vacuum Insulated Valve System, Phase Separator at Dynamic Vacuum Pump System (kabilang ang Vacuum Pumps, Solenoid Valves at Vacuum Gauges atbp. ). Ang haba ng solong VI nababaluktot na medyas ay maaaring ipasadya ayon sa mga kinakailangan ng gumagamit.
11.various na mga uri ng koneksyon: Ang uri ng Vacuum Bayonet (VBC) at welded na koneksyon ay maaaring mapili. Ang uri ng VBC ay hindi nangangailangan ng on-site na insulated na paggamot.
